動作原理
NanoStreamSソースは、最適化されたDCスパッタリングソースを使用して金属ターゲット（銅ディスクなど）から蒸気を生成します。ソースの出口までの圧力、プラズマ温度、およびガス混合物の流量を慎重にコントロールすることにより、蒸気は雲の中での液滴形成のようにナノ粒子に凝縮します。ソースの出口を通過すると、ナノ粒子の成長が急激に停止し、非常に明確なサイズ分布（+/-20％ FWHM）を持つナノ粒子ビームが生成されます。この分布は、非常に高い質量に特化したインライン型マスフィルターを使用してさらに洗練することができます。

フレキシビリティー
生成されるナノ粒子の大部分はイオン化されており（負に帯電）、電気的に操作することができます。この特性により、粒子の衝突エネルギーを変化させることで、ユーザーは堆積する膜の特性をさらに変更するための追加パラメータを持つことができます。低エネルギー（加速なし）では、粒子はソフトランディングし、自然な形状を保持します。わずかな加速度では、粒子は互いや被覆表面と結合しますが、ほぼその形状を保持し、非常に多孔質で安定した層が形成されます。加速度を増すと、フィルムは徐々により密なものとなり、非常に高いエネルギーでは、粒子が変形し混ざり合い、優れた密着性を持つバルク層が形成されます。これにより、NanoStreamSはアプリケーションに合わせて非常に柔軟に使用できます。

QポールマスフィルターMSFは、NanoStreamソースと連携して使用され、最大10⁶amuのスループットでナノ粒子ビームを分析およびフィルタリングすることができます。MSFマスフィルターのフィルタリングモードでのサイズ分解能は2%と非常に高性能で、精密な粒子サイズの定義を実現することができます。Windows対応ソフトウェアが標準で付属し、PCからの分析が可能です。