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モジュール式薄膜堆積システム

コーヴァス・テクノロジー社製「HEX(ヘックス)」は、従来の真空システムにはない優れたカスタマイズ性を有する、全く新しいコンセプトのベンチトップ薄膜堆積システムです。HEXの構造はモジュール化されていることから、エンドユーザー様自身によってブロックを組み立てるような要領で、簡単に短時間で多機能成膜システムを組み上げることができます。<詳細情報を読む>

HEXシステムの中核は一体成型の六角柱型アルミニウム・フレームです。このフレームの上下面および6つの側面にパネルをボルト止めすることにより、真空チャンバーとなります。各パネルにはいくつかの種類が用意されており、数分程度の作業で簡単に交換することができます。その時々の用途にあわせて、ポートの数や配置を自由にカスタマイズ可能です。

HEXシステムには電子ビーム蒸着源、DCおよびRFスパッタソース、抵抗加熱蒸着源、有機蒸着源などの成膜コンポーネントを取り付けることができます。さらに、膜厚計、ロードロックや各種サンプルステージ(加熱、冷却、回転および固定)などのシステムオプションも用意されています。マニュアル制御だけでなく、PCからのオート制御にも対応可能です。

HEXシステム

HEXはコンパクトで柔軟性の高いモジュール式成膜システムです。その時々における研究ニーズにあわせて、自由自在に構成を変更することができます。真空チャンバーは六角柱の形状をしたアルミフレームにより構成されています。アルミフレームの各面には交換可能なパネルが取り付けられます。さまざまな機能を持ったパネルが用意されていますので、簡単に必要なシステムを構成することが可能です。

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