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薄膜堆積用真空システム

Mantis Deposition社は、様々なアプリケーションに対応した真空システムを製造しています。最大6インチまでの様々なサイズのサンプルへの薄膜堆積を行うことができます。利用するアプリケーションに応じて、真空システムにMantis Deposition社製最先端UHVコンポーネントを搭載することが可能です。

QPREPシリーズ

QPREPシステムは、電子ビーム蒸着やマグネトロンスパッタリング、熱蒸着、ナノクラスターデポジションなどの様々な薄膜堆積テクニックに対応可能な真空システムです。QPREPシステムはモジュラーデザインを採用しているので、これらの薄膜堆積法を組み合わせて、高度に設計された薄膜コーティングを行うことが可能です。QPREPシステムは標準で2インチから6インチのサンプルに対応します。

メーカーウェブサイトQPREPページ

Mシリーズ

Mシリーズは高度にモジュラー化されたMBEシステムです。このシステムは外部ベーキングテントによるベーキングが可能で、メタルシールが採用されていることから、ベースプレッシャーは5x10-10mbar以下です。標準で1インチから6インチのサンプルに対応します。ドーピングアプリケーションには、KセルやRFアトムソースを追加することで、システムの機能性を増強することができます。

メーカーウェブサイトMページ

QUBEシリーズ

QUBEシリーズはコンパクトな汎用成膜システムです。チャンバー前面の大きなフロントドアが特徴的で、サンプル導入/搬出の際にチャンバー内部にアクセスしやすい構造になっています。実験、プロトタイプ製作や少量生産などに適しています。熱蒸着やマグネトロンスパッタリング、電子ビーム蒸着、有機蒸着に最適化されたシステムです。

メーカーウェブサイトQUBEページ